Un cours qui traite des matériaux pour micro-capteurs et micro-actionneurs, des matériaux pour microstructures, des techniques et procédés de micro-fabrication pour le micro-usinage, la conception et le développement assistés par ordinateur de MEMS, des structures et systèmes MEMS commerciaux, le packaging pour MEMS, les tendances futures.

Temps présentiel : 35 heures

Charge de travail étudiant : 65 heures

Méthode(s) d'évaluation : Examen final, Examen partiel, Travail personnel